미니 스테이지:WN264TA25H

주요 특징들

• 비접촉 직접 구동 시스템은 높은 역동성과 신뢰성으로 초정밀 모션을 보장합니다.
• 초대형, 고효율 리니어 모터로 발열 최소화
• 아이언리스 무빙 코일은 코깅이 없어 매우 부드러운 속도 제어가 가능합니다.
• 매우 조용한 크리프 방지 크로스 롤러 베어링은 케이지 이동 없이 잔물결 없는 모션을 보장합니다.
• 고정밀 유리 스케일 인코더는 50nm 반복성으로 정확한 위치 피드백을 제공합니다.
• 뛰어난 속도 안정성과 모션 감도를 위해 보간 오류가 낮은 Sub-nm 해상도
• 스테이지 내부에 움직이는 케이블이 없고 파티클 발생이 감소하며 신뢰성이 향상됩니다.